반도체 공정용 실리콘 부품 전문 기업 씨엠티엑스(CMTX)가 미국 반도체 장비업체 램리서치와의 '특허무효' 소송에서 잇따라 승소했다.
특허심판원은 지난 16일 씨엠티엑스가 청구한 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허무효 심판에서 '청구 성립' 심결을 내렸다. 해당 특허를 무효로 하고 심판비용은 피청구인인 램리서치가 부담한다는 주문이다. 이번에 특허심판원 심결을 받은 특허는 플라스마 공정 체임버(방)에서 무선주파수전류가 흐르는 경로를 제어해 체임버 벽을 보호하고 이상 방전을 막는 기술이다. 소송의 대상이 된 제품은 '한정 링'으로 반 황금성오락실 도체 식각 공정 장비 내부에 장착되는 실리콘 부품이다. 플라스마 체임버에서 플라스마를 일정한 공간에 가둬 공정의 안정성과 수율을 확보하는 역할을 한다.
램리서치 측은 체임버 내 부품 간 미세한 갭이 무선주파수 단락 역할을 해 전류를 흐르게 하는 것이 자사 고유의 기술이라고 주장해 왔다. 하지만 특허심판원은 램리서치 특허가 일본의 공개 특허 릴게임신천지 등 선행 기술을 결합해 통상의 기술자가 쉽게 발명할 수 있으므로 진보성이 없다고 판단했다.
앞서 램리서치는 2024년 10월 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허 2건을 침해했다는 이유로 씨엠티엑스에 특허권 침해 금지·손해배상청구 소송을 제기했다. 씨엠티엑스는 각각의 사안에 대해 특허무효 심판 등을 특허심판원에 청구해 대응해 왔다.
체리마스터모바일 특허심판원은 앞서 지난달 30일 이중 한 건에 대해 청구 성립 심결을 내린 데 이어, 이번에 다른 기술에 대해서도 청구 성립 심결을 내렸다. 램리서치가 씨엠티엑스에 제기한 특허권 침해 금지 소송의 근거인 인접 특허 2건에 대해 1심에서 모두 '무효' 판단이 나온 것이다.
특허심판원은 지식재산처 산하 준사법적 행정심판기관으로 릴게임가입머니 특허무효·권리범위 분쟁에서 1심을 담당한다. 2심은 특허법원, 3심은 대법원이 맡는다. 특허 침해소송(민사)은 1심 지방법원, 2심 특허법원, 3심 대법원이 맡는다.
[이윤식 기자]